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半導體行業廢水處理工藝流程（半導體廢液如何處理才能達標）

標簽：添加時間：2022-11-30 瀏覽次數:3491

　　半導體行業廢水處理工藝流程（半導體廢液如何處理才能達標）

含氟廢水處理系統至少設置兩套，一用一備，兩級處理。HF廢水從水泵的自均和槽提升到第一反應槽，用于反應槽Ca(OH)2調節PH氟化鈣產生后，重力流入第二反應槽準確投入第二反應槽CaCL2.徹底反應廢水中的F，同時仔細調整PH值至最佳點然后廢水流入混凝土槽，加入混凝劑（PAC）產生的明礬花團，充分反應后的廢水流入絮凝槽絮凝劑加入絮凝槽（PAM-），使明礬進一步凝結，然后流入沉淀槽進行泥水分離HF二次處理工藝相同，二次處理工藝的主要目的是進一步降低F離子濃度對F-連續在線檢測，根據各級處理水質自動判斷，合格廢水經水泵加壓后輸送至廢水中和處理系統進一步處理。如果F檢測指標不達標，將水排入應急池。

　　氟含氨廢水工藝

　　錳砂處理含氨含氟廢水RO濃縮吹掉二級空氣酸洗吸收工藝處理。廢水首先經過PH調整后，進入錳砂塔去除過氧化氫，過濾后進入活性炭和安全過濾器RO裝置濃縮。RO檢測合格后，裝置的透水水排入中水池回用；濃縮液通過加入NaOH將廢水PH提高至10.5~11.5熱交換器后，將溫度高到45℃~50℃之后，廢水中的氨通過二次吹脫塔吹出。將含氨廢氣從吹出塔進入吸收塔，用硫酸溶液酸洗，形成硫酸銨溶液。二次吹脫處理合格的廢水由泵加壓輸送至氫氟酸廢水處理系統進一步處理，不合格的產水回到氟氨系統原水箱。硫酸銨溶液送廠外由專業承包商處理。

　　氨氮廢水工藝

　　錳砂用于處理氨氮廢水RO濃縮吹掉二級空氣酸洗吸收工藝處理含氨含氟廢水首先經過PH調整后，進入錳砂塔去除雙氧水過濾后進入活性炭和安全過濾器RO裝置濃縮RO經檢測合格后，裝置通過水排入中水池回用。加入濃縮液NaOH將廢水PH提高至10.5~11.5.換熱器將溫度提高到45℃~50℃送入填料吹出塔后，將廢水中的氨吹出二次吹出處理合格的廢水由泵壓力輸送至酸堿中和處理系統進一步處理排放，不合格的產水返回氨氮系統原水箱將氨溶解在硫酸溶液中形成硫酸銨溶液。硫酸銨溶液送廠外由專業承包商處理。

　　CMP廢水流程

　　CMP廢水從水泵自均和槽提升到一級反應槽，在反應槽中調整PH重力流進入二級反應槽在快速混合槽中加入絮凝劑（PAC）幫助明礬生成，充分反應后的廢水流入慢混合槽在慢混槽中加入混凝劑（PAM），使明礬繼續變大，然后流入斜板沉淀槽進行泥水分離，溢出的水流入產水槽通過連續在線儀器檢測SS指標：合格的廢水經水泵加壓后輸送至廢水中和處理系統進一步處理。檢測槽檢測廢水不符合合格標準的，自動切入應急水槽，將不合格廢水引入應急水槽暫時儲存，然后用水泵將廢水回收CMP廢水處理系統和槽再處理，直至合格。

　　含銅廢水工藝

　　含銅廢水從水泵自均和槽提升到一級反應槽，在反應槽中調整PH氫氧化銅沉淀后，重力流入二次反應槽二次反應槽中廢水的細調PH在混凝土槽中加入絮凝劑（PAC）形成明礬，反應后的廢水流入絮凝槽在絮凝槽中加入混凝劑（PAM），使明礬繼續變大，然后流入沉淀池進行泥水分離，溢出的清水流入水槽對Cu2連續在線檢測，合格廢水經水泵加壓后輸送至廢水中和處理系統進一步處理如果檢測槽檢測廢水未達到合格標準，則自動切入應急水槽，將不達標廢水引入應急水槽暫時貯存，然后用水泵將該廢水打回含銅廢水處理系統均和槽再次進行處理直至合格。

　　生活污水處理系統流程

　　生活污水處理系統可設置單套。生活污水的處理采用埋地一體化A/O處理過程。處理后的水升至酸堿一級pH調節池處理排放。

　　酸堿廢水工藝

　　一般不可回收無機酸堿廢水、純水站酸堿再生廢水以及其它經處理合格的廢水均集中于該系統進行處理。酸堿廢水自均和槽依靠重力流過中和反應槽和出水檢測槽，并在出水檢測槽中在線連續檢測pH值、TOC、TCu、SS、NH4OH、TP、TN、F-濃度若水質檢測達到廢水排放標準，出水直接排入室外排水管網；如果水質檢測不符合廢水排放標準，關閉排水閥，將不合格廢水通過應急泵吸水壓力引入應急水槽暫時儲存，然后用水泵將廢水回到相應的系統，直至達到標準排放。

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